连科半导体获得立式双片8寸碳化硅外延炉专利能使产能成倍提高

  金融界2025年1月4日音讯，国家知识产权局信息数据显现，连科半导体有限公司获得一项名为“一种立式双片8寸碳化硅外延炉”的专利，授权公告号CN 222251125 U，请求日期为2024年4月。

  专利摘要显现，本实用新型是立式双片8寸碳化硅外延炉，其结构是机械手和转运仓坐落外延炉本体下方，外延炉本体包含石英桶，石英桶顶部设有供反响气体通入的石英方管，石英桶侧壁上均匀绕设有线圈，内壁设保温层，石英桶两边别离相对设有电机，电机输出端衔接陶瓷旋转轴外端，陶瓷旋转轴顺次穿过线圈、石英桶和保温层延伸至石英桶中心，陶瓷旋转轴内端放置有装载外延片的载盘，载盘置于石英桶中心的半月型热场上。作业时机械手将带有外延片的载盘置于半月型热场上，反响气体经过石英方管参加作业时，两边电机带动左右两载盘同步运转。本实用新型的长处：可有用提高衬底旋转速度，并可准确操控旋转精度，大大下降外延片缺点，一腔双片的结构可使产能成倍提高。

  天眼查资料显现，连科半导体有限公司，成立于2023年，坐落无锡市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册本钱11312.5万人民币，实缴本钱10000万人民币。经过天眼查大数据分析，连科半导体有限公司共对外出资了1家企业，知识产权方面有商标信息14条，专利信息69条，此外企业还具有行政许可5个。